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高精度壓電馬達(dá)角位移臺(tái)(偏擺臺(tái))

簡(jiǎn)要描述:角位移臺(tái)又稱為擺動(dòng)滑臺(tái)、α軸擺動(dòng)平臺(tái)等,是用在在小角度內(nèi)精確旋轉(zhuǎn)物體的平臺(tái),它提供的不是線性運(yùn)動(dòng)而是繞著空間固定一點(diǎn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。高精度壓電馬達(dá)角位移臺(tái)(偏擺臺(tái))

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-06-02
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高精度角位移臺(tái) 

角位移臺(tái)又稱為擺動(dòng)滑臺(tái)、α軸擺動(dòng)平臺(tái)等,是用在在小角度內(nèi)精確旋轉(zhuǎn)物體的平臺(tái),它提供的不是線性運(yùn)動(dòng)而是繞著空間固定一點(diǎn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

AU-SGO系列壓電馬達(dá)角位移臺(tái)由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng),使用高精度交叉滾珠軸承,可提供*的分辨率,并且行程可達(dá)到±5°,非常適用于微米或納米定位。該平臺(tái)可提供不同的旋轉(zhuǎn)半徑。主要包括以下產(chǎn)品。

 

AUSGO-60.5

AUSGO-77.5

AUSGO-93.5

Picture

Travel   [°]

±5

±5

±5

Max.   Normal Force [N]

5

5

5

Center   of Rotation [mm]

 (above working platform)

60.5  

77.5  

93.5   

Closed-Loop   Resolution [µrad]

0.03

0.03

0.03

Closed-Loop   Repeatability, Full Stroke MCS2 [µrad]

0.12

0.12

0.12

此外可以將兩個(gè)合適半徑的平臺(tái)組合在一起組成歐拉角位移臺(tái),此外還可以與線性平臺(tái)組合組成多維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。 另外該平臺(tái)還可以用于不同的環(huán)境下,例如真空和超高真空環(huán)境。

應(yīng)用實(shí)例:

1、  具有六個(gè)自由度的定位系統(tǒng)(X;Y;Z;a;b;Zθ)

角位移臺(tái)可以與我們的其它運(yùn)動(dòng)模塊組合組裝為多維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),如下圖所示,與兩個(gè)線性平臺(tái)和升降臺(tái)組裝成XYZ平臺(tái),在XYZ系統(tǒng)的頂部安裝了兩個(gè)測(cè)角儀SGO-60.5和SGO-77.5,以及一個(gè)SR-5014旋轉(zhuǎn)臺(tái),由于外部尺寸和安裝孔匹配,三個(gè)旋轉(zhuǎn)階段具有相同的旋轉(zhuǎn)中心(由綠色球體表示)。

主要特點(diǎn)

l  高精度(0.03µrad)

l  可在真空和非磁環(huán)境

高精度壓電馬達(dá)角位移臺(tái)(偏擺臺(tái))

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