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WildFire-ONE:面內(nèi)導(dǎo)率測量系統(tǒng)(SDTR)
熱反射面內(nèi)熱導(dǎo)率測量系統(tǒng)基于“泵浦-探測"原理,采用空間域熱反射法(Spatial Domain Thermal Reflection,縮寫為:SDTR),能夠準(zhǔn)確測量從薄膜到塊體材料的完整的面內(nèi)熱導(dǎo)率張量。系統(tǒng)自動化程度高,操作簡便,特別適合大批量快速測量。
系統(tǒng)概述
現(xiàn)代工業(yè)中,亞毫米級小尺寸樣品熱物性測量的需求激增。常規(guī)熱導(dǎo)率測量技術(shù)如激光閃光法、平面熱源法、穩(wěn)態(tài)法無法滿足亞毫米級小尺寸樣品的測量需求。該測量系統(tǒng)基于熱反射原理,采用高度聚焦的連續(xù)波激光進行測量,為準(zhǔn)確測量亞毫米級小尺寸樣品的熱物性提供了一個易于操作、性價比高的解決方案。
空間域熱反射技術(shù)(SDTR)主要是基于“泵浦-探測"技術(shù)和光熱反射技術(shù)。其的原理為:使用探測光束對以固定頻率周期性調(diào)制的泵浦光斑加熱區(qū)域進行空間掃描探測(或固定探測光斑,掃描泵浦光斑),利用光熱反射原理測量樣品表面溫度場的振幅和相位的空間分布信息,進而對傳熱模型進行擬合,zui終得出樣品的(縱向、及面內(nèi))熱導(dǎo)率等熱物性信息。其優(yōu)勢是對面內(nèi)可以進行非常全面的面內(nèi)熱物性分析。
但傳統(tǒng)的SDTR技術(shù)普遍存在的一個問題,和FDTR一樣它需要對絕對的相位誤差進行校準(zhǔn)。我們WildFire-ONE面內(nèi)導(dǎo)率測量系統(tǒng)則創(chuàng)新性的使用相位差信號替代相位信號重新建模進行擬合,這項技術(shù)(發(fā)明專 li號: ZL 2021 1 1527522.3)可以有效的避免相位校準(zhǔn)過程中帶來的誤差,提高測量精度。
此外值得一提的是,我們WildFire-ONE面內(nèi)導(dǎo)率測量系統(tǒng)還集成了光斑自動測量功能,從而大大的降低了擬合模型因光斑直徑參數(shù)輸入不準(zhǔn)確而導(dǎo)致的測量不確定。熱導(dǎo)率測量誤差≤5%,光斑尺寸測量誤差≤2%。
1、電源需求:110/220 VAC, 50/60 Hz, 15 Amp
2、激光波長:泵浦638 nm,探測785 nm(標(biāo)配,可根據(jù)用戶需求選配)
3、激光功率:泵浦100 mW,探測20 mW(標(biāo)配,可根據(jù)用戶需求選配)
4、調(diào)制頻率范圍:標(biāo)配DC-5MHz,可升級到50MH,200MHz
5、顯微成像:標(biāo)配,可觀察樣品表面狀況及激光光斑位置
6、測溫范圍:標(biāo)配室溫,可增配80-500 K、300-1200 K、4-300 K等不同溫區(qū)的變溫模塊
7、軟件:全自動數(shù)據(jù)測量與分析處理、數(shù)據(jù)導(dǎo)出、報告生成
以X切石英晶體為例: