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相位偏折測(cè)量系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:相位偏折測(cè)量系統(tǒng)相位偏折術(shù)或條紋反射法,是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的面形測(cè)量技術(shù),絕對(duì)檢測(cè)精度可達(dá)10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等面型的高精度檢測(cè)。具有測(cè)量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點(diǎn)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-09-29
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:238
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品牌昊量光電產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

相位偏折術(shù)/相位偏折測(cè)量系統(tǒng)


相位偏折術(shù)/相位偏折測(cè)量系統(tǒng)產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

 偏折測(cè)量技術(shù)(PDM)又稱(chēng)為相位偏折術(shù)或條紋反射法,是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的面形測(cè)量技術(shù),絕對(duì)檢測(cè)精度可達(dá)10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等面型的高精度檢測(cè)。具有測(cè)量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點(diǎn)。


 上海昊量光電設(shè)備有限公司近日推出市面上shou款商業(yè)化的共軸偏折術(shù)測(cè)量系統(tǒng),具有操作方便,檢測(cè)精度高(<15nm RMS),應(yīng)用范圍廣等特點(diǎn)。相位偏折測(cè)量 系統(tǒng)主要由ccd相機(jī) 、LCD顯示屏和待測(cè)件三個(gè)部分組成,系統(tǒng)配置如下圖。LCD顯示屏投射提前生成好的結(jié)構(gòu)光正弦條紋,正弦條紋被待測(cè)鏡表面反射后發(fā)生畸變,CCD相機(jī)采集畸變后的條紋,再利用相位斜率映射關(guān)系從畸變的條紋圖中計(jì)算出待測(cè)鏡梯度信息,再根據(jù)基梯度數(shù)據(jù)的面形重構(gòu)算法,重建出待測(cè)鏡的面形。



圖1 偏折術(shù)測(cè)試系統(tǒng)



偏折術(shù)系統(tǒng)(PMD)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

  • 檢測(cè)精度高:<15nm RMS

  • 測(cè)量范圍寬:能夠測(cè)量平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等;

  • 對(duì)環(huán)境噪聲不敏感:具有非常強(qiáng)的抗環(huán)境干擾;

  • 系統(tǒng)搭建簡(jiǎn)單、性?xún)r(jià)比高:使用商業(yè)化的配件,對(duì)成像光路沒(méi)有特殊要求。


相位偏折術(shù)/相位偏折測(cè)量 系統(tǒng)測(cè)試案例:

圖2 平面鏡(λ/10)檢測(cè)


圖3 球面鏡(Thorlabs ,CM508-500-G01)檢測(cè)

圖4 離軸拋物面檢測(cè)


圖5 ONERA公司TMA自由曲面檢測(cè)(右側(cè)為LUPHOScan輪廓儀測(cè)試結(jié)果)



相位偏折術(shù)/相位偏折測(cè)量 系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用:


隨著工業(yè)制造業(yè)發(fā)展,我國(guó)在航空航天、裝備制造、汽車(chē)工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)與通信和微電子高科技等領(lǐng)域方面對(duì)鏡面和鏡面類(lèi)等零件需求越來(lái)越大,其已經(jīng)成為了我國(guó)在通信行業(yè)的關(guān)鍵零件之一。制造過(guò)程中有一道必要工序就是面形檢測(cè),目前的常用檢測(cè)方法存在檢測(cè)效率低,檢測(cè)精度不滿(mǎn)足要求等問(wèn)題,隨著上海昊量光電設(shè)備有限公司相位偏折測(cè)量 系統(tǒng)(偏折術(shù))推出,可以有效助力我國(guó)的科技項(xiàng)目。


相位偏折測(cè)量系統(tǒng)


關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國(guó)防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶(hù)提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開(kāi)發(fā),軟件開(kāi)發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。


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