品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
皮米精度位移激光干涉儀
昊量光電推出的皮米精度位移干涉測(cè)量?jī)xquDIS是對(duì)納米級(jí)別的位移波動(dòng)進(jìn)行量測(cè)的理想儀器,基于其*的測(cè)量原理,相對(duì)距離的重復(fù)精度達(dá)到了50皮米。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測(cè)量通道,使其可以適用于任意的多軸測(cè)量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過(guò)與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,通過(guò)激光波長(zhǎng)調(diào)諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實(shí)現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的絕對(duì)距離測(cè)量,基于這種測(cè)量方式,使得quDIS相對(duì)其他產(chǎn)品測(cè)量距離可以達(dá)到20M的同時(shí)保持高精度,且與信號(hào)對(duì)比度和強(qiáng)度無(wú)關(guān),由于使用整個(gè)干涉模式來(lái)提取位移信息,因此不存在非線性誤差。此外,quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號(hào)中提取得到。
皮米精度位移激光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn):
多維度多通道位移干涉器,操作簡(jiǎn)單,即插即用
相對(duì)距離和絕對(duì)距離測(cè)量
完善的全套系統(tǒng)配置
實(shí)時(shí)輸出數(shù)字化圖像
針對(duì)不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案
長(zhǎng)期使用保證穩(wěn)定性
兼容真空與各種惡劣環(huán)境
皮米精度位移激光干涉儀*優(yōu)勢(shì):
絕對(duì)距離高精度測(cè)量!
不存在非線性及周期性誤差!
相對(duì)距離信號(hào)穩(wěn)定性<0.05nm!
工作距離最大20m(與傳感頭相關(guān))
目標(biāo)最大速度1m/s
三個(gè)傳感接口,可實(shí)現(xiàn)多設(shè)備同步
探測(cè)器分辨率達(dá)到1pm
皮米精度位移激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:
極限環(huán)境下振動(dòng)分析
緩慢漂移及熱膨脹檢測(cè)
精密設(shè)備位置控制
納米級(jí)位移測(cè)量
層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測(cè)量
位移和振動(dòng)精度評(píng)估
皮米精度位置測(cè)量?jī)x參數(shù)列表:
干涉儀 | 傳感頭 | ||
光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
功率 | <400uW | 相對(duì)距離穩(wěn)定性 | < 0.05nm |
波長(zhǎng) | 1535nm | 絕對(duì)距離精度 | <0.2nm/mm |
線寬 | <5MHz | 帶寬 | 25kHz |
傳感器通道 | 3 | 工作距離 | 0.1—20m |
光纖輸入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目標(biāo)速度 | <1m/s |
Mating Sleeves | 傳感頭 | 真空 | |
同步 | 多臺(tái)設(shè)備同步 | 低溫 |